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[EN欧标] BS EN 62047-21-2014半导体器件--微电机器件--第21部分:MEMS薄膜材料泊松比的测试方法

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时间:2017-4-13 18:18 0 136 | 复制链接 |

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IEC 62047-21-2014/BS EN 62047-21-2014半导体器件--微电机器件--第21部分:MEMS薄膜材料泊松比的测试方法
Semiconductor devices – Micro-electromechanical devices – Part 21: Test method for Poisson's ratio of thin film MEMS materials
BS EN 62047-21-2014.rar (1.09 MB, 下载次数: 0)
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